到貨通知:SU-8光刻膠2000系列、3000系列到貨啦
SU-8光刻膠常用2000系列、3000系列到貨啦,美國原裝進口,無需預定!無需等待!
新型的化學增幅型負像 SU-8 膠是一種負性、環(huán)氧樹脂型、近紫外線光刻膠,克服了普通光刻膠采用 UV光刻導致的深寬比不足的問題,十分適合于制備高深寬比微結構。
SU-8光刻膠的優(yōu)點:
1、SU-8光刻膠在近紫外光(365nm- 400nm)范圍內光吸收度很低,且整個光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致,可得到具有垂直側壁和高深寬比的厚膜圖形;
2、SU-8光刻膠具有良好的力學性能、抗化學腐蝕性和熱穩(wěn)定性;
3、SU-8在受到紫外輻射后發(fā)生交聯(lián),是一種化學擴大負性膠,可以形成臺階等結構復雜的圖形;
4、SU-8膠不導電,在電鍍時可以直接作為絕緣體使用。
由于具有較多優(yōu)點,SU-8 膠正被逐漸應用于 MEMS、芯片封裝和微加工等領域。目前,直接采用 SU8 光刻膠來制備深寬比高的微結構與微零件已經(jīng)成為微加工領域的一項新技術。在微流控芯片加工中,SU-8主要用于快速模塑法加工PDMS微流控芯片。
運用SU8光刻膠加工模具澆鑄PDMS芯片示意圖
標簽:   SU-8光刻膠
- 上一條沒有了
- 下一條高通量的分泌蛋白表征技術和液滴微流控篩選平臺