微流控芯片模內(nèi)鍵合功能以及鍵合后芯片的無(wú)損脫模
微流控芯片的基片與蓋片完成模內(nèi)對(duì)準(zhǔn)后,模具第二次合模,進(jìn)入模內(nèi)鍵合階段,需要對(duì)芯片施加鍵合壓力。該壓力可以通過(guò)注塑機(jī)鎖模機(jī)構(gòu)提供,也可以通過(guò)獨(dú)立的液壓油趕提供。通常,在玻璃轉(zhuǎn)化溫度附近時(shí),聚合物微流控芯片模外鍵合所需的壓力一般只有,但需要保持該壓力長(zhǎng)時(shí)間作用于芯片之上,否則芯片無(wú)法完成鍵合。在芯片模內(nèi)鍵合過(guò)程中,注塑機(jī)的鎖模機(jī)構(gòu)雖然可以在二次合模后,對(duì)芯片提供所需要的鍵合壓力,當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)定值后,注塑機(jī)的鎖模機(jī)構(gòu)會(huì)自動(dòng)由壓力控制切換到位置控制,無(wú)法提供持續(xù)、穩(wěn)定的鍵合壓力。因此,本套模具采用獨(dú)立的油紅提供芯片鍵合所需的持續(xù)壓力。
完成微流控芯片模內(nèi)鍵合后,采用頂板頂出的方式完成芯片的脫模,可使頂出力均勻的作用在芯片上,減少因頂出力不均造成的芯片變形。然而,注塑機(jī)的頂出功能在一次注塑循環(huán)過(guò)程中只能使用一次。在第一開(kāi)模后,注塑機(jī)的頂出機(jī)構(gòu)已經(jīng)用于主流道凝料的頂出,無(wú)法再用于鍵合后芯片的脫模。為了實(shí)現(xiàn)芯片的順利脫模,再增加一個(gè)獨(dú)立的油紅,用于鍵合后芯片的脫模。
通過(guò)上述分析可知,將基片與蓋片的成型、對(duì)準(zhǔn)及鍵合工藝集成于一套模具的微流控芯片注射成型及模內(nèi)鍵合工藝方案是可以實(shí)現(xiàn)的,但需要注塑成型機(jī)具備二次合模的功能,并配備三組液壓抽芯,分別用于驅(qū)動(dòng)動(dòng)模板的上下滑移、提供芯片鍵合所需的持續(xù)壓力以及鍵合后芯片的脫模。微流控芯片注射成型及模內(nèi)鍵合工藝方案如圖所示。芯片的基片和蓋片在同一套注塑模具內(nèi)成型后,通過(guò)動(dòng)模板的上下滑移實(shí)現(xiàn)基片和蓋片對(duì)準(zhǔn);在成型模溫的基礎(chǔ)上,將芯片快速加熱至鍵合溫度,利用模具上集成的油虹對(duì)芯片施加持續(xù)的鍵合壓力;保溫保壓一段時(shí)間后,開(kāi)模、冷卻,頂出芯片,獲得具有封閉微通道網(wǎng)絡(luò)的聚合物微流控芯片。微流控芯片模內(nèi)鍵合技術(shù),釆用注射成型的方法制備了芯片的基片和蓋片,成型周期不到并直接在模具內(nèi)完成基片和蓋片的對(duì)準(zhǔn)和鍵合,省卻了芯片的冷卻、鉆孔、清洗、干燥、退火處理和再次加熱升溫等諸多工序,有效地縮短了聚合物微流控芯片的制備周期,提高了芯片鍵合的成功率,使聚合物微流控芯片低成本、大批量和快速生產(chǎn)成為可能,加速聚合物微流控芯片的商業(yè)化進(jìn)程。
標(biāo)簽:   微流控芯片 鍵合