微流控中的鍵合設備
微流控芯片介紹
微流控芯片是一種在極小的芯片上加工出所需圖形的技術,這些圖形通常由微米級的微流道和儲液池構(gòu)成。這種技術在生物或化學反應中可以高效地進行,通過外部裝置精確控制試劑的使用,極大地提高了試劑的使用效率。微流控芯片因其體積小、功能強大,被稱為“芯片實驗室”,能夠?qū)⒄麄€現(xiàn)實中的化驗室功能集成到一塊小小的芯片上。
鍵合工藝的重要性
微流控芯片實驗室的成品率普遍較低,其中密封技術是微流控芯片制造過程的關鍵步驟,也是難點之一,封合不佳就會出現(xiàn)漏液,從而影響實驗結(jié)果。
玻璃等硬質(zhì)材料常通過熱鍵合和陽極鍵合技術實現(xiàn)密封,而節(jié)能省時的低溫玻璃鍵合技術更受科研人員的青睞。此外,膠黏劑鍵合和表面改性鍵合以其便捷性和實用性的優(yōu)勢成為玻璃和聚合物芯片鍵合領域重要的部分。
常用的聚二甲基硅氧烷(PDMS)和聚甲基丙烯酸甲基(PMMA)高聚物材料則依據(jù)其不同的適用場合而采用不同的鍵合方式。
PMMA微流控芯片的制作流程主要采用熱模壓法制作基片和蓋片,并將基片和蓋片鍵合形成具有封閉通道的芯片。然而這種方法將芯片的成型與鍵合工藝分開,自動化程度低,芯片制作周期長,嚴重阻礙了微流控芯片的大批量,低成本制造。將微注射成型與熱鍵合相結(jié)合,在精密注塑機上成型帶有微通道的基片和蓋片,通過模具滑移實現(xiàn)基片和蓋片的對準,而后利用注塑機的二次合模施加壓力實現(xiàn)芯片的鍵合,使芯片的成型和鍵合工藝在同一套模具上實現(xiàn),自動化程度高,芯片的制造周期短。
蘇州汶顥真空熱壓鍵合機適用于PDMS、PMMA、PC、COC、硅片、玻璃、晶元、石英等多種材質(zhì)的微流控芯片鍵合要求,同時也可以滿足不同氣體對于不同基材的中低高溫度鍵合,還可以滿足真空環(huán)境下的中低溫退火工藝,可以靈活設置溫度和編程,當然間隔期的壓力在量程內(nèi)也是可以任意編程設置和控制的,是國內(nèi)芯片熱壓鍵合的重要品牌之一。
綜上所述,鍵合設備在微流控行業(yè)中的應用非常廣泛且至關重要。通過不斷的技術創(chuàng)新和優(yōu)化設計,鍵合設備不僅提高了微流控芯片的性能和可靠性,還為整個行業(yè)的發(fā)展提供了強有力的支持。
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標簽: 真空熱壓鍵合機