微流控芯片封裝技術(shù)
微流控芯片封裝技術(shù):對加工完成的微流控芯片為了封閉流道需要和另外一層蓋板進(jìn)行封裝,根據(jù)需要,可以選擇的主要的封裝方式有:熱壓鍵合封裝(適用于各類聚合物材料)、表面改性封裝(適用于PDMS-玻璃等)、陽極鍵合(適用于玻璃材質(zhì))。
微流控芯片熱壓鍵合設(shè)備工作原理
熱壓鍵合后的熱塑性材質(zhì)微流控芯片橫截面(PMMA-PS材質(zhì))
微流控芯片/芯片基板注塑成型技術(shù):通過注塑機(jī),將特定聚合物原料顆粒/粉末注塑加工制成微流控芯片基板,通過更換模具,也可用于微流控芯片的直接注塑加工。
注塑加工制成的微流控芯片基板(COC材質(zhì))
標(biāo)簽:   芯片封裝