1. 產(chǎn)品簡介

WH-HP-03多溫區(qū)烘膠臺是汶顥股份自主開發(fā)，具有獨立知識產(chǎn)權(quán)，可以用于光刻工藝中的前烘、中烘和后烘，并具有分段式程控升溫。該設(shè)備采用PID控溫系統(tǒng)自動測溫控溫，升溫速度快、溫度均勻、控溫精度高等特點，可長時間持續(xù)穩(wěn)定工作。此儀器最大特點是具有3個溫控區(qū)域，可分別設(shè)定與調(diào)整不同的溫度，可同時/單獨工作，克服了一個溫控區(qū)域必須來回切換升溫/降溫的缺點。

2. 技術(shù)參數(shù)

2 烘膠溫度：室溫～300℃

2 持續(xù)烘膠時間：～15min以內(nèi)為宜

2 控溫精度：±1℃

2 溫度均勻性：＜±5%

2 烘膠板規(guī)格：φ130mm

2 參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)

2 控溫形式：PID控溫系統(tǒng)

2 電源輸入：AC220V±10V/50HZ

2 功率：1.5 KW

2 重量：21kg

2 外形尺寸：480（W）*580（D）*200（H）mm

3. 特征圖解

特征圖解1

特征圖解2

4. 操作說明

（1）開機：接通電源，打開背面電源開關(guān)，觸摸屏點亮，進(jìn)入溫度顯示界面，多溫區(qū)烘膠臺進(jìn)入待機狀態(tài)。

（2）設(shè)定溫度：點擊觸摸屏的“參數(shù)設(shè)定”進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置界面，分別設(shè)置第一階段和第二階段前烘膠臺、左烘膠臺、右烘膠臺的溫度和保持時間。

（3）啟動運行：點擊參數(shù)設(shè)定界面的“確定”鍵，切換到主頁面，點擊觸摸屏的“啟動”鍵，儀器切換到“啟動”鍵進(jìn)入加熱狀態(tài)。

（4）停止加熱：點擊觸摸屏的“停止”鍵，儀器切換到“停止”鍵，風(fēng)扇開始運作，多溫區(qū)烘膠臺停止加熱，進(jìn)入降溫狀態(tài)。

（5）冷卻關(guān)機：烘膠結(jié)束后，烘膠板還在高溫狀態(tài)，此時應(yīng)繼續(xù)保持通電一段時間，以便多溫區(qū)烘膠臺降溫冷卻，避免因關(guān)機時溫度過高造成儀器內(nèi)部損壞和使用人員燙傷，當(dāng)溫度降至50℃以下時關(guān)閉電源開關(guān)，并拔掉電源插頭。

5. 安全注意事項

拆開包裝后，請按照裝箱清單詳細(xì)檢查配件，如有缺失，請聯(lián)系銷售代表。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發(fā)或受到其它外界因素的影響引起火災(zāi)。

操作前請詳細(xì)閱讀本說明全部內(nèi)容，并嚴(yán)格按照要求依次進(jìn)行操作。若用戶因不規(guī)范操作或違規(guī)操作而導(dǎo)致的人身傷害事故、儀器損害、財產(chǎn)損失，廠家將不予承擔(dān)任何責(zé)任。

警告：

安置本儀器的桌（臺）面應(yīng)堅實平整，四只橡膠腳墊應(yīng)與桌（臺）面平穩(wěn)接觸，否則會產(chǎn)生儀器不平穩(wěn)，影響硅片烘膠效果。

儀器工作時，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非安全空間內(nèi)逗留，以免高溫燙傷。

放置硅片和拿取硅片時，請利用鑷子等工具，以免燙傷。

儀器出現(xiàn)故障應(yīng)及時切斷電源，并與銷售代表聯(lián)系，切勿自行打開機殼。

嚴(yán)禁非專業(yè)人員維修，維修時必須先拔下電源插頭，防止事故發(fā)生。