- 如何成功進行微流控SU-8光刻膠的紫外曝光?為了成功紫外曝光并且根據(jù)所需要的分辨率,光掩模必須盡可能的靠近SU-8光刻膠放置,不要有任何干擾。如要這樣做,可檢查如下幾件事。首先,光掩模和晶圓之間的灰塵...2024-08-23 08:57:36
- 微流控SU-8光刻膠的紫外曝光可使SU-8光刻膠可溶于或不溶于溶劑。良好SU-8 UV曝光的相關(guān)參數(shù)紫外曝光過程中光掩模和SU-8之間的接觸為了成功紫外曝光并且根據(jù)所需要的分辨率...2017-12-21 08:58:06
- SU-8光刻膠模具軟烤(光刻膠的第一次烘烤) ;4、 邊緣光刻膠的去除(可選) ;5、 紫外曝光 ;6、 曝光后烘烤(光刻膠的第二次烘烤);7、 顯影 ;8、 硬烘烤...2025-04-08 05:55:09
- 高深寬比光敏玻璃生產(chǎn),具有先進的光敏性、均質(zhì)性。該玻璃一款技術(shù)光敏玻璃。該光敏玻璃經(jīng)過紫外曝光以及熱處理后會析出晶體,這些析晶區(qū)域在酸腐蝕之后可以形成高深寬比的細小...2020-08-21 09:54:51
- ?凝膠澆筑微流控芯片的介紹模板:用光刻法制作微流控芯片結(jié)構(gòu)圖案硅片模板,包括旋涂光刻膠、軟烘焙、紫外曝光、后烘、顯影、堅膜、硅烷化處理步驟?;旌螾DMS預(yù)聚物與聚合劑:將聚二...2025-03-27 10:36:12
- 基于玻璃基底的細胞培養(yǎng)芯片研究(上)0min此時光刻膠厚度為6~7μm。軟烘結(jié)束,利用光刻機對玻璃基底進行紫外曝光。曝光后的ITO玻璃用顯影液AZ400K顯影,顯影過程中不斷晃動ITO...2024-12-05 10:22:20
- 低成本微流控芯片的加工與鍵合方法(下)的粘性材料通常是具有紫外固化性質(zhì)的材料(如SU—8、干膜等),需要經(jīng)過紫外曝光實現(xiàn)基底和蓋片材料的鍵合。此外,非紫外固化材料如蠟也可以用來進行簡易的...2024-07-23 09:39:21
- 微流控芯片制造工藝(下)來完成納米級的集成電路制造,比如電子束曝光、X射線曝光、離子束曝光、極紫外曝光等。此部分內(nèi)容在下一篇中介紹。?免責(zé)聲明:文章來源網(wǎng)絡(luò)? 以傳播知識、...2024-06-25 08:47:32
- 微流控光刻技術(shù)的微粒子研究現(xiàn)狀及應(yīng)用進展(a) 通過調(diào)控紫外光強度分布和曝光時間調(diào)節(jié)微粒子形態(tài)。 (b) 通過紫外曝光時間和掩膜形狀控制來調(diào)節(jié)微粒子形態(tài)。(c) 通過紫外光焦平面位置和掩模...2023-11-02 11:23:23
- 如何加工一個微流控芯片的環(huán)氧樹脂SU-8模具:SU-8模具制作的提示和技巧(光刻膠的第一次烘烤)???4、 邊緣光刻膠的去除(可選)???5、 紫外曝光???6、 曝光后烘烤(光刻膠的第二次烘烤)???7、 顯影???8、...2023-07-28 08:53:56
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