- 基于電化學刻蝕與微電鑄工藝為解決微流控芯片模具在微電鑄工藝中鑄層與基底結(jié)合力差的問題,在光刻工藝的基礎(chǔ)上,采用掩膜電化學刻蝕和微電鑄相結(jié)合的方法,制作出了結(jié)合力較好的鎳基雙十字微流控芯片模具。針對掩...2017-10-10 08:38:48
- 金屬模具?圖為使用金屬芯片模板加工PDMS芯片、PMMA芯片產(chǎn)品圖二、金屬模具/微電鑄模具優(yōu)點?能多次翻印PMMA/PDMS/玻璃芯片?良好的表面結(jié)構(gòu)三、加工...2025-04-10 12:12:40
- 微流控芯片3大制作技術(shù)是用紫外光光源來代替LIGA技術(shù)中的同步輻射X光深層光刻,然后進行后續(xù)的微電鑄和微復(fù)制工藝。它不需要同步輻射X光光刻和特制的X光掩膜板,有利于實現(xiàn)微機...2024-08-29 09:41:06
- 微流控芯片的制作技術(shù)是用紫外光光源來代替LIGA技術(shù)中的同步輻射X光深層光刻,然后進行后續(xù)的微電鑄和微復(fù)制工藝。它不需要同步輻射X光光刻和特制的X光掩膜板,有利于實現(xiàn)微機...2021-10-14 15:29:00
- 微流控技術(shù)的原理、制備以及應(yīng)用是用紫外光光源來代替LIGA技術(shù)中的同步輻射X光深層光刻,然后進行后續(xù)的微電鑄和微復(fù)制工藝。它不需要同步輻射X光光刻和特制的X光掩膜板,有利于實現(xiàn)微機...2018-02-24 09:04:10
- LIGA技術(shù)和準LIGA技術(shù)優(yōu)缺點對比是用紫外光光源來代替LIGA技術(shù)中的同步輻射X光深層光刻,然后進行后續(xù)的微電鑄和微復(fù)制工藝。它不需要像LIGA技術(shù)所需的同步輻射X光光刻和特制的X光掩...2017-10-25 09:53:33
- 生物芯片與微流控技術(shù)是用紫外光光源來代替LIGA技術(shù)中的同步輻射X光深層光刻,然后進行后續(xù)的微電鑄和微復(fù)制工藝。它不需要同步輻射X光光刻和特制的X光掩膜板,有利于實現(xiàn)微機...2017-08-22 11:04:10
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