• 食品安全測(cè)領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。二、主要原理??依托學(xué)科：分析化學(xué)、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）??結(jié)構(gòu)特征：微管道網(wǎng)絡(luò)??工作原理：微管道中流體控制??前處理功...2025-04-08 22:23:44
• 高深寬比光敏玻璃璃大量應(yīng)用在微流控（Microfluidics）、無(wú)線射頻（RF）元件和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）等領(lǐng)域。光明玻璃晶圓的標(biāo)準(zhǔn)供應(yīng)尺寸包括直徑6英寸或8英寸...2020-08-21 09:54:51
• 楊芃原：微流控技術(shù)有望十年內(nèi)得到普遍應(yīng)用起 ? 　　楊教授首先指出，90年代初期興起的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)是微全分析系統(tǒng)領(lǐng)域發(fā)展的第一大里程碑，MEMS融合了微電子與精...2014-06-12 16:20:24
• 鉻板掩膜和光刻掩膜的區(qū)別微納加工技術(shù)中光刻工藝所使用的圖形母版，在IC、平版顯示器、印刷電路版、微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。隨著信息技術(shù)和智能制造的快速發(fā)展，特別是智能手...2025-02-19 09:29:54
• 微流控芯片中的CNC加工技術(shù)nz與Widmer在1990年提出，其核心特點(diǎn)是將實(shí)驗(yàn)流程微型化，并通過(guò)微機(jī)電加工技術(shù)在芯片上構(gòu)建微流路系統(tǒng)。CNC加工技術(shù)的基本原理CNC（計(jì)算機(jī)數(shù)...2024-12-27 09:33:54
• 芯片實(shí)驗(yàn)室的應(yīng)用及發(fā)展趨勢(shì)出發(fā)展的多樣性，總的發(fā)展朝著更加完善的方向發(fā)展。1．芯片制造由手工為主的微機(jī)電（MEMS）技術(shù)生產(chǎn)逐漸朝自動(dòng)化、數(shù)控化的亞紫外激光直接刻蝕微通道方向發(fā)...2024-12-12 09:02:25
• 光刻掩膜和光刻模具的關(guān)系刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版，如集成電路（IC）、平板顯示器（FPD）、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）等。光刻模具光刻模具在某些特定的微加工技術(shù)中，如納米壓印...2024-10-14 09:14:32
• 掩膜板的制造和管理MS（Micro Electro Mechanical Systems，微機(jī)電系統(tǒng)）等。紫外光刻機(jī)、步進(jìn)式光刻機(jī)等光刻設(shè)備上都需要使用掩膜版。掩膜板的...2024-08-01 10:02:30
• 低成本聚合物微流控芯片加工技術(shù)京化工大學(xué) 機(jī)電工程學(xué)院,北京 100029)引 言微流控技術(shù)最初源自于微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical system,M...2024-07-16 09:53:20
• 光刻膠黏度如何測(cè)量？光刻膠需要稀釋嗎？均勻的涂層。薄膠能夠減少光學(xué)衍射效應(yīng)，有利于高分辨率的圖案制作。 ??在微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、微流體器件等中，需要使用高黏度的光刻膠，一般可以達(dá)到幾...2024-02-20 11:46:38