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• 影響勻膠機(jī)旋涂儀性能和厚度參數(shù)勻膠機(jī)旋涂儀對于從事微流控領(lǐng)域的研究者來說并不陌生，它可以用來制備膜厚度<10nm薄膜，在1-100um厚度的光刻膠沉積光刻工藝中也常常用到。在微流控...2022-04-22 15:19:59
• 勻膠機(jī)旋涂儀工作原理以及勻膠工藝常見問題勻膠過程介紹一個(gè)典型的勻膠過程包括滴膠，高速旋轉(zhuǎn)以及干燥(溶劑揮發(fā))幾個(gè)步驟。滴膠這一步把光刻膠滴注到基片表面上，高速旋轉(zhuǎn)把光刻膠鋪展到基片上形成簿層...2017-12-04 13:32:44
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