- SU-8光刻膠模具構(gòu):在硅片上只涂覆一層光刻膠,曝光一次完成;????圖為:單層SU-8光刻膠模具局部結(jié)構(gòu)放大圖?多層結(jié)構(gòu):在硅片上多次涂覆光刻膠,多次曝光,可制作具備...2025-04-10 13:14:54
- 光刻膠模具加工工藝1.光刻膠模具加工工藝流程將設(shè)計(jì)好的芯片結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到掩版上經(jīng)過負(fù)性光刻膠光刻到硅陽模。2.光刻膠模具使用的儀器及耗材儀器設(shè)備有:勻膠機(jī)、烘膠臺(tái)、紫外光刻機(jī)、...2017-10-09 17:14:32
- 光刻加工根據(jù)自己的需求設(shè)計(jì)微流控芯片或委托微流控芯片設(shè)計(jì)與加工。汶顥目前可提供光刻膠模具(深寬比一般為1:1~3:1)、純硅模具(深寬比一般為10:1~15:...2025-04-10 13:14:54
- 掩膜版、模具與微流控芯片及其制作方法與用途具。顯影液:用于顯影光刻膠??涛g液:用于刻蝕玻璃基片。脫模液:用于去除光刻膠模具。光刻機(jī):用于光刻膠的曝光和顯影??涛g機(jī):用于刻蝕玻璃基片。掩膜版在微...2025-02-18 09:33:39
- 用于絲狀真菌抗真菌分析的液滴微流控平臺(tái)(下),并由CAD/Art打印在光掩模上。在硅晶圓上制備SU8-2050負(fù)性光刻膠模具,通過紫外線照射和隨后的顯影(SU-8顯影液)。將固化劑添加到PDMS...2024-05-16 11:26:02
- 一種細(xì)胞培養(yǎng)微芯片的制作及應(yīng)用芯片制作的基本方法是先通過微加工技術(shù)在硅片表面制作出雙層的SU-8負(fù)性光刻膠模具,然后通過模塑方法形成具有微結(jié)構(gòu)的PDMS基片,最后與玻璃鍵合形成封閉...2019-03-01 10:26:37
- 用于藥物篩選的微流控細(xì)胞陣列芯片控陣列芯片在細(xì)胞藥物研究中的關(guān)鍵技術(shù)。本研究介紹了一種利用SU-8負(fù)性光刻膠模具和PDMS制作雙層結(jié)構(gòu)的微流控細(xì)胞陣列芯片的方法,該芯片通過C型的壩結(jié)...2018-12-04 09:53:29
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