汶顥微流控芯片加工能力
汶顥科技具有雄厚的微流控芯片加工能力,保持國內(nèi)芯片加工領(lǐng)域先進(jìn)地位,配置了先進(jìn)的軟刻蝕有機(jī)芯片加工系統(tǒng)、光刻-掩膜無機(jī)芯片加工系統(tǒng)、數(shù)控CNC微加工系統(tǒng),可以加工玻璃、石英、硅、PDMS、PC、金屬等材質(zhì)的微流控芯片。
芯片設(shè)計(jì):以客戶目標(biāo)為導(dǎo)向,設(shè)計(jì)微通道與微結(jié)構(gòu),并選擇匹配的材質(zhì)和工藝,實(shí)現(xiàn)芯片功能。
芯片材質(zhì):可以加工所有材質(zhì)的微流控芯片,包括PMMA、PDMS、玻璃、石英、硅片、金屬等。
技術(shù)手段:光刻、濕法刻蝕、注塑、數(shù)控加工、熱壓、激光刻蝕等。
加工能力:
PDMS:加工線寬在2微米以上,深寬比最大可到5:1;
玻璃/石英/硅片:濕法刻蝕,線寬在5微米以上;
PMMA等聚合物:加工線寬在200微米以上,深度100微米以上;
金屬:加工線寬在200微米以上,深度100微米以上。
標(biāo)簽:   微流控芯片加工