勻膠機(jī)操作說明書
WH-SC-01勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝,制版及表面涂覆等工藝,可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。
勻膠機(jī)操作說明
(1)選擇合適的專用吸附盤(略小于樣片尺寸),將缺口對(duì)準(zhǔn)螺釘,吸附盤安裝時(shí)一定要插入到底。
(2)開啟電源。
(3)顯示屏顯示三個(gè)轉(zhuǎn)速階段,按工藝設(shè)置好轉(zhuǎn)速和時(shí)間。
(4)放片,要注意放正。
(5)按顯示屏上“啟動(dòng)”,顯示屏自動(dòng)跳轉(zhuǎn)至運(yùn)行階段,吸片自動(dòng)開啟,馬達(dá)先以第一階段參數(shù)運(yùn)行,轉(zhuǎn)速可在顯示屏上實(shí)時(shí)觀察。
(6)滴膠,動(dòng)作要快。在第一階段運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間內(nèi)滴膠完畢,關(guān)上上蓋;隨時(shí)間推移自動(dòng)運(yùn)行第二和第三階段。
(7)電機(jī)停轉(zhuǎn)后,吸片自動(dòng)停止,打開上蓋,取下片子。
(8)繼續(xù)勻膠時(shí)重復(fù)3-7步。
(9)勻膠結(jié)束后,關(guān)上上蓋,切斷電源。
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