勻膠機(jī)使用注意事項(xiàng)及維護(hù)清洗
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝,制版及表面涂覆等工藝,可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。
勻膠機(jī)簡介
勻膠機(jī)有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),總的來說,他們原理都是一樣的,即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)使用注意事項(xiàng) :
(1)所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸 2-3mm 左右,如果用大吸附盤甩小 的樣片就會(huì)產(chǎn)生漏氣,同時(shí)造成膠被吸入抽氣室,導(dǎo)致氣路堵塞。
(2)如果不慎膠被吸入了抽氣室,要立刻進(jìn)行清洗,否則吸附盤、光電盤、電 機(jī)軸會(huì)黏在一起,造成電機(jī)轉(zhuǎn)不動(dòng),拆卸亦很困難。
(3)氣路堵塞或氣泵損壞時(shí)電機(jī)也可運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片,故在啟動(dòng)電機(jī)前須確認(rèn)氣 泵的狀況良好及吸片確已吸住。
(4)本機(jī)一旦出現(xiàn)故障或異常情況請立即切斷電源,參考上述常見故障排除, 若自己不能解決,請及時(shí)撥打汶顥股份公司電話。
勻膠機(jī)的維護(hù)清洗:
屬下列情況之一時(shí),需要對抽氣室進(jìn)行清洗
1.正常使用半個(gè)月的;
2.膠被吸入抽氣室的;
3.電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動(dòng)的。
汶顥股份是勻膠機(jī)生產(chǎn)廠家,歡迎來電咨詢勻膠機(jī)價(jià)格。
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