SU-8光刻膠工藝路線及工藝流程

1) 對(duì)襯底進(jìn)行清洗，并在200℃烘30分鐘以上以去除表面水分子

2) 用厚膠甩膠工藝在基片表面旋涂所需要厚度的SU-8光刻膠

3) 利用熱板對(duì)SU-8光刻膠進(jìn)行前烘處理,在熱板上緩慢冷卻

4) 在Karl Suss MA6紫外光刻機(jī)上進(jìn)行接觸式曝光

5) 對(duì)曝光后的SU-8光刻膠在熱板上進(jìn)行后烘熱處理，得到交聯(lián)的SU-8膠結(jié)構(gòu)

注:由于交聯(lián)的SU-8光刻膠結(jié)構(gòu)內(nèi)應(yīng)力很大,可以導(dǎo)致基底彎曲變形和膠的開(kāi)裂.所以加熱必須緩慢,冷卻應(yīng)在熱板上隨熱板冷卻到室溫

6) 超聲顯影，得到光刻膠圖形

7) 將SU-8光刻膠微結(jié)構(gòu)在150℃-200℃下在熱板上進(jìn)行固化

SU-8光刻膠工藝路線及工藝流程圖

1.PDMS澆鑄成模(Polydimethysiloxane)工藝流程

1) 將襯底有SU-8光刻圖形模具固定在真空熱壓機(jī)上，底部放上待模壓的PDMS

2) 關(guān)閉模腔并抽真空,將圖形壓入PDMS,升溫至120℃,保持60s

3) 降溫至40℃, 讓模腔充氣,打開(kāi)模腔，取出SU-8+PDMS樣品,并從SU-8圖形上脫下PDMS圖形

2. PDMS表面金屬化工藝流程

1) 清洗PDMS樣品圖形表面并做濺射前的處理

2) 將PDMS樣品放入濺射機(jī)的真空腔并抽真空到合適的鍍膜真空度

3) 在PDMS樣品表面濺射100nm鈦+300nm鎳

4) 真空腔充氣, 打開(kāi)真空腔,取出表面金屬化的PDMS樣品.

3.在PDMS樣品上電鑄微模具工藝流程

1)將氨基磺酸鎳作為主鹽，PH值3.5-4,溶液溫度升到40℃±2℃,循環(huán)過(guò)濾(小于0.4微米)以控制電鑄槽的旋浮顆粒大小

2)將PDMS樣品放入電鑄槽中

3)加1000HZ,占空比1:10,電流密度2A/cm2的脈沖電源

4)根據(jù)不同的高度,電鑄不同的時(shí)

5)取出電鑄后的PDMS樣品,并將它烘干

6)在氧等離子體氣氛下去除PDMS

7)在顯微鏡下對(duì)電鑄的微結(jié)構(gòu)進(jìn)行檢查,以確定最終的產(chǎn)品是否是成品

（A）線寬5μm, 高280μm，深寬比為56

（B）線寬10μm, 高350μm，高寬比為35

（A）線寬5μm, 高280μm，深寬比為56

（B）線寬10μm, 高350μm，高寬比為35

(A) 線寬13，高160，深寬比為12；

(B) 線寬16，高360，深寬比為22

(1) 線寬53.85um，深寬比為6.9；

(2) 線寬42.3um，深寬比為8.8；

(3) 線寬23.08um，深寬比為16.1；

(4) 線寬11.5um，深寬比為32.2。

(A) 線寬20um,高163.2um,深寬比為8.16； (B) 線寬10um,高163.2um,深寬比為16.32